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柔性 MOCVD 系統(tǒng)采用基于 PC 的 控制技術(shù)打造模塊化設(shè)備
上傳時(shí)間:
2021/1/26 16:16:20
Agnitron 利用 Agilis 兩用機(jī)開發(fā)了一套通過金屬有機(jī)物化學(xué)氣相淀積(MOCVD)技術(shù)制備半導(dǎo)體材料氧化鎵的系統(tǒng)。此外,該系統(tǒng)還能夠在需要時(shí)切換為其它材料。Agnitron 采用倍福基于 PC 的控制技術(shù),確保滿足用戶在研發(fā)中小型生產(chǎn)設(shè)備時(shí)所需的高可靠性和靈活的可擴(kuò)展性。